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激光干涉儀是一種以波長作為標準對被測長度進行測量的儀器。激光干涉儀是20世紀60年代末期問世的一種新型的測量設備，其主要在：線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應用。隨著激光干涉儀測量技術的不斷提高，測量軟件的不斷開發其測量范圍越來越廣泛，特別是在測量數控機床位置精度方面用途廣泛。

國產高性能激光干涉儀（SJ6000）采用進口高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現多種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(約8分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光輸出，采用不同的光學鏡組可以測量出線性長度、角度、直線度、平行度、平面度以及垂直度等幾何量，并且可以進行動態測量分析。

國產高性能激光干涉儀（SJ6000）性能特點：
精度高
      以激光干涉技術為核心，分辨力可達納米級；采用高精度環境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩頻控制系統，保證激光長期穩頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩定。
功能廣
      具有實現線性、角度、直線度、垂直度、回轉軸等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、直線度和垂直度；并可以校準機床的回轉軸。
      可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為機床誤差修正提供依據。
      具有動態測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線) 及測量振幅和頻率分析的功能，可進行振動分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析等。
      支持手動或自動進行環境補償。
標準多
      內置國內外通用的標準，含國標(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標、DIN(德標) 、JIS(日標)共13份。可依據各種不同的測量標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。
便攜性
      使用方便：準直激光后，輕易實現設備線性定位、重復定位精度、反向間隙、角度、直線度的測量。
      攜帶方便：基本重量為18kg，簡單便攜。
記錄管理方便，可定制
      測量記錄采用集中式數據庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理測量記錄。可定制專屬企業模板，增加企業商標。
      激光干涉儀測量分析軟件支持以下檢驗標準：內置國內外通用的標準，含國標(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標、DIN(德標) 、JIS(日標)共13份。可依據各種不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。
 
國產高性能激光干涉儀（SJ6000）數據庫內置標準：

序號	標準號	標準名稱
1	GB 17421-2000	中國國家標準
2	GB 10931-89	中國國家標準
3	ISO230-1997	1997版國際標準
4	ISO230-2006	2006版國際標準
5	ISO230-2014	2014版國際標準
6	ANSI B5.54	美國國家標準
7	ASME B89.1.12M	美國機械工程師協會標準
8	NMTBA	美國機床協會標準
9	BS 3800	英國機床標準
10	BS 4656	英國三測機標準
11	JIS B6330	日本國家標準
12	VDI 3441	德國機床標準
13	JJG 117-2005	平板檢定規程

 
高性能激光干涉儀（SJ6000）技術指標：
系統性能
測量方式：單頻
穩頻精度：±0.05ppm
動態采集頻率：50 kHz
預熱時間：約8分鐘
工作溫度范圍：(0～40)℃
存儲溫度范圍：(-20～70)℃
環境濕度：(0～95)%RH
環境補償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.1℃(0～40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃(0～55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±5%RH  (0～95) %RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa  (65～115)kPa
線性測量
測量距離：(0～80)m
測量精度：±0.5ppm (0～40)℃
測量分辨力：1nm
測量*大速度：4m/s
角度測量
軸向量程：(0～15)m
測量范圍：±10°
測量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M) ″(R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)
測量分辨力：0.1″
平面度測量
軸向量程：(0～15)m
測量范圍：±1.5 mm
測量精度：±(0.2%R+0.02M²) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)
基板尺寸：180mm可調，360mm可調
測量分辨力：0.1μm
直線度測量

	軸向量程	測量范圍	測量精度	分辨力
短距離	(0.1～4.0)m	±3mm	±(0.5+0.1%R+0.1M2) μm	0.01μm
長距離	(1.0～30.0)m	±3mm	±(5.0+2.0%R+0.05M2) μm	0.1μm
注：R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m

垂直度測量

	軸向量程	測量范圍	測量精度	分辨力
短距離	(0.1～3.0)m	±3mm	±(0.5+0.1%R+0.2M)″	0.01μm
長距離	(1.0～20.0)m	±3mm	±(0.5+0.5%R+0.04M)″	0.1μm
注：R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m

精密轉臺
型號：WR50
角度測量范圍：(0～360)°
測量精度：±1″
分辨力：0.1″
*高轉速：10rpm
重量：2.1kg
供電：鋰電池
通信：藍牙傳輸
觸發盒
型號：CT70
供電：DC 12V
信號輸入：差分TTL（RS422）正交編碼信號、10uApp微電流信號
輸出形式：10us脈沖
觸發延時：0.1us
尺寸重量與供電
便攜箱尺寸：外尺寸：613mm×460mm×230mm
線性配置重量：18Kg
供電電源：(100～240)VAC