在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域中，在同等放大倍率下，3d光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器的測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。
中圖儀器SuperViewW13d光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。其重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng)：1024×1024
光學(xué)ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺(tái)：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備，均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程：100mm，電動(dòng)
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平調(diào)整：±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm
臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度0.3%，重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測(cè)，一鍵分析、測(cè)量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
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產(chǎn)品功能
1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能；
2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；
3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
SuperViewW3d光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器能對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
